- ETRI, ‘산화갈륨’ 워크숍 개최

공정이 완료된 산화갈륨 전력반도체 온-웨이퍼 측정 모습.[ETRI 제공]
공정이 완료된 산화갈륨 전력반도체 온-웨이퍼 측정 모습.[ETRI 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 차세대 핵심 반도체 소재로 각광받는 산화갈륨의 미래를 조망하는 무대가 마련된다. 한국전자통신연구원(ETRI)은 30일부터 사흘간 대전컨벤션센터에서 ‘제5회 산화갈륨전문학술워크숍’을 개최한다.

산화갈륨(Ga2O3)은 실리콘(Si), 질화갈륨(GaN), 탄화규소(SiC)와 같은 반도체 물질이다. 하지만 기존 반도체 소재들보다 에너지 밴드 갭(Band Gap)이 넓은 울트라와이드 밴드 갭(Ultra-wide bandgap; UWBG) 소재로 더 높은 전압과 온도에서도 더 높은 전력효율을 갖는다.

고품질 대면적 웨이퍼로 만들기가 쉬워 저비용으로 대형 고전력 소자 제작이 가능하며 뛰어난 전력효율로 인해, 에너지 낭비를 줄이고 탄소 저감에도 기여할 수 있어, 미래 탄소중립 실현을 위한 차세대 전력반도체 소재로도 각광받고 있다.

산화갈륨전문학술워크숍은 한국산화갈륨기술연구회 주관으로 국내에서 유일하게 열리는 ‘산화갈륨’반도체 소재·디바이스 및 응용기술 전문가 학술 워크숍이다. 이번 워크숍은 “산화갈륨으로 꿈꾸는 미래 탄소중립과 신시장 개척”을 주제로 산화갈륨 관련 30편의 최신 연구결과 논문발표와 정부지원 R&D 연구성과물 전시회 등으로 진행된다.

이번 워크숍에서는 ▷원료 및 단결정 성장기술 ▷에피성장 및 도핑기술 ▷응용소자 및 공정기술 ▷시뮬레이션 및 특성분석 등 4개 세션을 통해 최신 산화갈륨 소재·디바이스·응용기술 관련 30편의 논문발표가 진행된다.

아울러 정부 R&D 지원을 통해 창출한 ▷산화갈륨 파우더 ▷산화갈륨 단결정 벌크 잉곳 ▷산화갈륨 에피 소재 ▷세계 최초 4인치 대면적 산화갈륨 전력반도체 소자 등 산화갈륨 연구성과를 한자리에 전시, 국내 산화갈륨 연구개발 수준을 실물로 확인할 수 있다.

문재경 한국산화갈륨기술연구회 초대 회장(ETRI 책임연구원)[ETRI 제공]
문재경 한국산화갈륨기술연구회 초대 회장(ETRI 책임연구원)[ETRI 제공]

문재경 한국산화갈륨기술연구회장(ETRI 책임연구원)은 “이번 산화갈륨전문학술워크숍은 통해 산화갈륨 관련 학술적 성과뿐만 아니라 최신 연구성과물을 여러 산·학·연 전문가 및 국민들과 공유할 수 있어 매우 뜻깊은 행사”라며 “앞으로도 산화갈륨 기술을 선도하기 위해 산·학·연이 긴밀히 협조하며, 학술 활동을 지속해나갈 계획”이라고 밝혔다.

한편 한국산화갈륨기술연구회는 한국전기전자재료학회 산하의 전문연구회로 2017년 설립됐다. 연구회는 초대 회장인 ETRI 문재경 책임연구원이 산업통상자원부의 지원으로 국내 최초 차세대 UWBG 산화갈륨 전력반도체 기술개발 사업을 시작하며 설립을 주도했다.

ETRI 연구진은 한국산화갈륨기술연구회의 산·학·연 전문가들과 함께 과기정통부의 ‘소재혁신선도프로젝트사업(국가핵심소재연구단)’, 산업부-과기부-중기부의‘소재부품장비 부처협업 함께달리기사업’등을 수행하며 개방형 연구를 통한 산화갈륨 기술개발 가속화와 글로벌 신시장 창출 및 선점을 위해 노력하고 있다.


nbgkoo@heraldcorp.com