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＜생생코스닥＞원익IPS, 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버 특허권 취득

입력 2012-04-03 14:39:50

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원익IPS(030530)는 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 공정 챔버 내부(하부)를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버이며 당사 반도체 장비에 적용해 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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