테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

회사측은 “열에 의해 분해된 가스가 재결합되어 챔버 내에 파우더 형태로 잔존하게 되는 것이 방지되며 가열 램프의 on/off에 의해 챔버 내의 분위기가 급변되는 것이 방지되므로 모든 기판을 균일하게 처리할 수 있다”고 설명했다.


jemmie@heraldcorp.com