증권

＜생생코스닥＞테스, 기판처리장치 특허권 취득

입력 2012-07-17 15:07:58

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테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 트레이와 전원단자가 견고하게 체결되고 둘 사이에 스파크가 발생함으로써 플라즈마가 불안정하게 형성되는 것이 방지되며, 그 결과 기판에 박막이 균일하게 증착된다”고 설명했다.

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