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＜생생코스닥＞테스, 기판처리장치 특허권 취득

입력 2012-01-17 16:52:36

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테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 진공상태에서 기판을 공정챔버로 이송할 수 있으므로 공정챔버가 항상 진공 및 가열상태를 유지할 수 있으며 그 결과 기판처리장치의 생산효율이 향상되는 이점이 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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