베닝크 CEO “DUV 통제 없다”

美, 네덜란드에 추가 통제 요구

네덜란드 ASML의 노광장비 생산 라인. [로이터]
네덜란드 ASML의 노광장비 생산 라인. [로이터]

네덜란드 반도체 제조장비 업체인 ASML이 미국의 수출 통제 요청에도 불구하고 중국에 삼자외선(DUV) 노광장비를 계속 수출하겠다는 뜻을 밝혔다. 중국의 반도체 산업을 견제하려는 바이든 행정부의 전략에 차질이 빚어질 것으로 보인다.

피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 네덜란드 벨트호벤에서 열린 4분기 경영성과발표회에서 “아직 정부 차원의 새로운 수출제한 조치가 취해지지 않았다”면서 “우리는 계속해서 DUV 장비를 중국에 출하할 수 있다”고 말했다. 그러면서 “올해 대 중국 수출 물량은 지난해와 비슷한 수준을 유지할 것”이라고 전망했다.

로이터통신에 따르면 ASML의 수주 잔고 400억유로 중 중국발 주문이 15%를 차지한다. 중국은 대만과 한국에 이은 3번째 규모의 ASML 고객이다.

DUV 노광장비는 중국 수출이 제한된 극자외선(EUV) 노광장비의 구형 제품으로 첨단 장비는 아니지만 스마트폰과 전기차, 컴퓨터 등에 들어가는 반도체를 제조하는데 사용되는 장비다.

ASML은 EUV 장비가 군사용 반도체를 제조하는데 사용될 수 있다는 미국의 우려를 받아들여 지난해부터 중국으로의 수출을 중단했지만 DUV 판매는 이어가고 있다.

조 바이든 미국 대통령은 지난 17일 백악관에서 마르크 뤼터 네덜란드 총리를 만난 자리에서 직접 대중 반도체 수출 통제 확대를 논의한 것으로 전해졌다. EUV 장비에 이어 DUV 장비 수출통제도 요구했을 것으로 추측된다.

이에 대해 베닝크 CEO는 “램리서치나 어플라이드 머티리얼스와 같은 미국 경쟁사도 미국 정부가 전면적인 수출 제한을 발표할 때까지 중국에 대한 판매에 제한을 가하지 않았다”면서 DUV 장비에 대한 새로운 수출통제 방안이 확정될 때까지 판매를 이어나가겠다는 의지를 밝혔다.

원호연 기자


why37@heraldcorp.com