LIG에이디피는 화학기상 증작장치에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.

회사측은 “LED MOCVD 장비 관련 특허로서, 증착이 이루어지는 챔버 내부의 온도를 측정하는 센서부의 보호에 관한 것으로 공정의 안정성을 높여주는 역할을 한다”고 설명했다.


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