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＜생생코스닥＞테스, 건식 식각 방법 관련 특허권 취득

입력 2012-04-03 14:41:37

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테스(095610)는 실리콘 산화막의 건식 식각 방법에 관한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판상에 파티클이 형성되는 것을 방지할 수 있으며 식각 효율성을 극대화해 공정 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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