가천대학교가 지난 10일 제3학생생활관에서 첨단 반도체 연구를 위한 수차보정 투과전자현미경실 개소식을 개최하고 참석자들과 테이프 커팅을 하고 있다.[가천대 제공]
가천대학교가 지난 10일 제3학생생활관에서 첨단 반도체 연구를 위한 수차보정 투과전자현미경실 개소식을 개최하고 참석자들과 테이프 커팅을 하고 있다.[가천대 제공]

[헤럴드경제(성남)=박정규 기자]가천대학교(총장 이길여) 바이오나노융합소재 연구센터(센터장 한상윤)가 교육부로부터 83억원을 지원 받아 첨단 반도체 연구를 위한 수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)을 도입하고 지난 10일 대학 제3학생생활관에서 수차보정 투과전자현미경실 개소식을 가졌다.

개소식에는 가천대 윤원중 부총장과 한상윤 바이오나노융합소재 연구센터장을 비롯해 교육부 ‘2025년 인프라 고도화 지원과제’ 참여 가천대 연구진, 조규호 EGTM 부사장 겸 연구소장, 이명재 DGIST 연구본부장, 나노종합기술원(NNFC) 양준모 박사(전본부장), 삼성종합기술원(SAIT) 분석그룹 박성용 파트장 등이 참석했다.

이번 인프라는 국내 최초로 서브나노미터급(1나노미터, 10억분의 1m보다 작은 크기) 반도체 소자의 특성 매핑(분석 대상의 특성을 넓은 영역에 걸쳐 지도처럼 파악하는 기술)과 오퍼란도(Operando, 실제 소자가 작동하는 상태에서 변화를 관찰·분석하는 기술) 연구가 가능한 분석 기반을 갖춘 것이 특징이다.

이로서 인프라를 활용해 원자 수준의 구조 분석부터 대면적 특성 매핑, 실제 소자 작동환경 분석까지 연구 범위를 확대할 수 있게 됐으며 이를 기반으로 차세대 반도체 소자 및 분석기술 개발과 산학연 공동연구를 본격화할 수 있게 됐다.

이번 연구 인프라는 가천대 바이오나노융합소재 연구센터가 지난해 교육부 ‘2025년 인프라 고도화 지원과제’에 최종 선정되면서 구축이 추진됐다. 구축된 인프라는 원자 수준의 구조 분석이 가능한 수차보정 주사투과전자현미경(Cs-corrected STEM)을 중심으로 에너지 분산 분광기(EDS), 전자 에너지 손실 분광기(EELS), 주사 세차회전 전자회절 (SPED), 전자빔 유도 전류 측정 시스템(EBIC) 등 다양한 첨단 분석 장비를 결합했다. 또한 실시간 전압 인가 홀더와 진공 이송 냉각 홀더 등을 갖춰 반도체 소재와 소자의 구조·전기적 특성을 정밀하게 분석할 수 있다.

이번 사업에는 가천대 반도체물리학과 윤상문 교수, 반도체공학과 최두호·이수길·엄기태·진강태 교수, 전자공학과 조의식 교수 등 관련 분야 교수진이 참여했다.

한상윤 바이오나노융합소재 연구센터장은 “구축된 첨단 연구 인프라를 활용해 대학과 연구기관, 기업 간 공동연구를 확대하고 차세대 반도체 소자 및 분석기술 개발을 위한 연구를 본격화할 계획”이라고 밝혔다.


fob140@heraldcorp.com