증권

＜생생코스닥＞테스, 공정 챔버 관련 특허권 취득

입력 2012-03-13 15:03:37

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테스(095610)는 가스분사장치 및 이를 갖는 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 가스 분사판의 열 변형에 따른 파손을 방지하고 증착 균일성을 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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