美 포천 “ASML 내년 55대 인도”

2020년 31대...올 상반기 16대

TSMC·삼성전자도 확보 열올려

SK하이닉스·마이크론 경쟁 가세

대당 1500억원에서 2000억원에 달하는 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비의 모습. [ASML 홈페이지]
대당 1500억원에서 2000억원에 달하는 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비의 모습. [ASML 홈페이지]

반도체 초미세공정에 필수적인 EUV(극자외선) 노광장비를 전세계에 독점공급하는 네달란드 ASML이 내년 EUV 장비 판매가 올해보다 두 배 늘어난다.

EUV는 대당 1500억원에서 2000억원에 달하는 초고가 장비다. 하지만 파운드리(반도체 위탁생산) 시장 선점을 놓고 치열한 경쟁을 벌이고 있는 글로벌 반도체 기업들이 EUV 장비 확보에 심혈을 기울이면서 ASML의 몸값도 천정부지로 치솟고 있다.

21일(현지시간) 미국의 경제 전문 매체 포천에 따르면 ASML은 내년 55대에 달하는 EUV 장비를 고객사에게 인도할 예정이다. 작년 기준 ASML은 EUV 장비 31대를 인도했고, 올해 상반기에만 16대를 인도했다. 반도체 패권경쟁이 치열해지는 가운데 EUV 판매량이 2배 가까이 늘어난 것으로 풀이된다.

현재 ASML은 연간 40대 정도의 EUV 장비를 생산하고 있지만 내년 생산량까지 이미 선주문이 끝난 상태다. 이재용 삼성전자 부회장이 지난해 10월 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 사태 속에서도 ASML 네덜란드 본사를 찾은 이유 역시 바로 EUV 장비를 확보하기 위해서인 것으로 전해졌다.

반도체 회로 선폭 기준으로 7나노 및 5나노 이하의 최첨단 공정을 위해서는 EUV 장비가 핵심 요소로 꼽힌다. 특히 파운드리(위탁생산) 시장에서 경쟁 관계인 대만 TSMC와 삼성전자가 EUV 장비 확보에 열을 올리고 있다. 반도체 업계에서는 TSMC가 가장 많은 EUV 장비를 보유하고 있는 것으로 추산하고 있다.

최근에는 SK하이닉스·미국 마이크론 등도 EUV 장비 확보 경쟁에 뛰어들었다. SK하이닉스는 지난 2월 4조7549억원을 투자해 ASML과 2025년까지 EUV 장비 공급 계약을 맺었다고 공시했다.

이에 따라 ASML의 실적도 고공행진을 이어가고 있다. ASML은 올해 2분기 실적 발표에서 매출액이 작년 같은 기간보다 22% 늘어난 40억2000만 유로(약 5조4560억원)를 기록했다고 밝혔다. 당기순이익은 10억3000만 유로(약 1조3980억원)로 같은 기간 38% 증가했다.

ASML 측은 또한 90억 유로(약 12조2160억원) 상당의 자사주 환매 계획도 발표했다. ASML은 “오는 22일부터 2023년 12월 31일까지 시행될 자사주 환매 계획을 직원들과 공유했다”면서 “45만주의 주식을 직원들에 할당하는 데 사용할 것으로 예상한다”고 밝혔다. 업계에서는 반도체 호황이 장기화되면서 자사주 환매 규모를 늘린 것으로 분석한다. 양대근 기자


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