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<생생코스닥>위지트 환형 배플 조립체 특허권 취득

입력 2012-11-30 18:19:50

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［헤럴드경제=남민 기자］위지트(036090)는 환형 배플 조립체에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.

회사측은 “에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 베플 제조방법에 관한 것”이라며 “해당 제품은 히터가 삽입되고 알루미늄 고진공 Brazing 기술이 적용 되는 제품이므로 본 특허는 효과적인 히터 삽입에 관한 구조와 효과적인 알루미늄 고진공 Brazing이 이루어질 수 있는 형상에 관한사항”이라고 설명했다.

이날 위지트 주가는 1% 오른 992원으로 마감했다.

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