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<생생코스닥>원익IPS, 박막 증착 장치 건식 세정 방법 특허취득

입력 2012-11-01 11:33:36

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김지현 기자

원익IPS는 탄소 함유 박막을 증착하는 박막 증착 장치의 건식 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.

회사측은 “탄소 함유 박막을 증착하는 증착 장치의 내부를 세정하는 방법으로서 증착장치를 인시츄 클리닝하여 생산성을 향상시키는 방법”이라며 “반도체 장비의 경쟁력 강화가 예상된다”고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

김지현 기자

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