쎄미시스코는 기판 검사장치，공정챔버의 실시간 모니터링 시스템，다단의 기판 투입 게이트를 가지는 기판 품질 검사장치에 관한 특허권을 각각 취득했다고 25일 공시했다.

회사측은 기판 검사장치와 관련，“초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이뤄지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축과 가로축 방향에서 크랙이나 치핑이 발생했는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치”라며 “LCD나 OLED공정의 초음파 세정기(USC) 세정 시에 4면을 모두 검사할 수 있는 장비가 없는 시점에서 세정과 동시에 글라스 에지 4면의 검사가 필요한 초음파 세정기에 기본 장착이 될 수 있도록 적용 및 확대할 예정”이라고 밝혔다.

또 공정챔버의 실시간 모니터링 시스템에 대해 “공정 챔버의 배기라인 내에 광파이버에 연결되는 프로브를 내장시켜 특정 대역의 파장을 분광 처리해 실시간 측정하는 모니터링 시스템 또는 챔버의 뷰포트와 배기라인을 통해 배출되는 가스를 흡수분광분석법으로 실시간 모니터링하는 시스템을 동시에 구축한 것”이라며 “기존 방식에 비해 경제적인 부담을 줄이면서 부품 교체작업으로 인해 공정이 중단되는 문제를 방지하고, 공정챔버내의 물리적, 화학적 상태를 실시간으로 모니터링함으로써 챔버의 이상유무 및 리크 존재여부를 보다 정밀하게 실시간으로 검출하게 된다”고 설명했다.

아울러 다단의 기판 투입 게이트를 가지는 기판 품질 검사장치와 관련 “다단으로 이뤄진 각 게이트 사이에 검사부품들인 카메라와 렌즈를 가로 방향으로 누워지도록 배열해 이송로봇을 통해 다수의 기판을 신속히 다단의 기판 투입 게이트로 이송시켜 복수의 기판에 대한 품질 검사를 진행하는 것”이라며 “다단의 게이트로 이루어진 시스템에서 다수의 기판에 대한 품질검사가 동시에 진행될 수 있도록 해 설치 공간에 대한 제약없이 복수 기판의 품질검사의 효율성을 높일 수 있다”고 덧붙였다.


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