-국내 반도체기업 선행공정개발 라인에 공급 성공

[헤럴드경제=이진용 기자] 반도체, 디스플레이, 태양전지, LED 및 OLED 제조장비 전문기업인 주성엔지니어링(대표 황철주ㆍ036930)은 세계 최초로 차세대 반도체 제조장비인 ‘공간분할플라즈마화학증착기(SDPCVD)’를 국내 반도체 제조기업 선행공정개발 라인에 공급을 개시했다고 21일 밝혔다.

이 장비는 지난해 주성이 세계 최초로 개발에 성공, 국내외에서 지속적인 검증 테스트를 진행해 왔으며 이번 첫 공급을 시작으로 향후 관련 기업으로의 추가 공급 가능성도 한층 높아졌다.

이번 공급에 성공한 SDPCVD는 낮은 온도에서 우수한 막질과 높은 생산성을 가진 혁신적인 장비로서 PECVD (플라즈마화학증착), LPCVD (저압화학기상증착), ALD (원자층증착) 등 기존의 다양한 공정 대응이 가능하고, Defect Zero(무결점)의 높은 생산성을 가진 장비로서 차세대 소자 개발, 양산 및 장비 유지 관리 면에서 획기적인 세계 최초의 장비다.

또 신개념 플라즈마 기술을 결합해 기존 PECVD와 LPCVD 대비 생산량을 높였으며, 기존 PECVD의 단점인 플라즈마에 의한 웨이퍼 손상 문제를 극복하고 ALD의 장점을 극대화해 저온에서도 우수한 막질을 형성하도록 제어할 수 있다는 점이 좋은 평가를 얻었다.

특히, 주성의 SDPCVD는 기존 반도체 제조의 공정의 패러다임을 혁신한 장비인 만큼 양산공급을 위한 사전평가가 진행되고 있어, 이번 첫 공급이 향후 시장 확대에도 막대한 영향을 줄 것으로 기대하고 있다.

한편 이 SDPCVD는 20nm 이하 미세 반도체 공정에서 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 금속막 및 High-K 공정의 모든 CVD 공정 장비를 대체할 수 있는 혁신적 장비다.

주성 관계자는 “이번 공급은 세계 최고 장비 개발을 위한 부단한 연구 노력이 이뤄 낸 성과”라며 “올해 이 장비의 경쟁력을 통해 세계 반도체 신시장을 개척해 기업 성장을 이룰 수 있도록 모든 노력을 다하겠다”고 말했다.