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<생생코스닥>테스, 플라즈마 처리장치 관련 특허취득

입력 2013-04-23 11:22:42

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김지현 기자

테스는 플라즈마 건 및 이를 포함하는 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

회사측은 “반도체 제조시 전극의 수명을 증가시키고, 생산성을 향상시킬 수 있으며 파손된 전극의 부분 교체가 가능하여 교체비용도 절감할 수 있는 장점이 있다”고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

김지현 기자

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