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테스, 박막증착장치 관련 특허 취득

입력 2016-09-06 14:27:13

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김지현 기자

[헤럴드경제=박영훈 기자] 테스는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 “디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판에 박막을 형성하기 위한 각종 공정가스의 복잡한 제어 및 구성을 필요로 하지 않게 되어 기존에 비해 단순한 구성으로 박막을 증착할 수 있다”고 설명했다.

jemmie@heraldcorp.com

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