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＜생생코스닥＞테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

입력 2012-04-17 15:41:58

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테스(095610)는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 고온 공정을 수행하는 경우에도 하부 패널의 변형에 의한 편평도 저하를 충분히 감소시킬 수 있으며 이를 통하여 기판 처리 공정의 균일도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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