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＜생생코스닥＞테스, 플라즈마 발생장치 관련 특허권 취득

입력 2011-11-22 15:00:27

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테스(095610)는 가스 공급 플레이트 및 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 사다리형 전극의 형상이 증착막에 전사되는 것을 방지할 수 있고 고주파수에서 선형전극부의 임피던스가 감소하게 되므로 RF파워의 전달효율이 향상된다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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