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<생생코스닥>테스, 대면적 기판 처리 장치 특허취득

입력 2013-05-28 10:58:06

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김지현 기자

테스는 대면적 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.

회사측은 “기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있는 기술”이라며 “특허기술 적용을 통한 신규장비 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

김지현 기자

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