[헤럴드경제=박영훈 기자] 테스는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.
회사측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판 처리 시 이송 로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림으로 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 웨이퍼 이송을 보다 안정적으로 진행 가능하다”고 설명했다.
jemmie@heraldcorp.com
[헤럴드경제=박영훈 기자] 테스는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.
회사측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판 처리 시 이송 로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림으로 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 웨이퍼 이송을 보다 안정적으로 진행 가능하다”고 설명했다.