삼성E&A와 RCS 공급 계약

국내 반도체사 생산현장 도입

촉매 기반 저온 분해 기술 적용

해외 반도체 고객 확대 추진

충북 청주시 에코프로에이치엔 본사 [에코프로에이치엔 제공]
충북 청주시 에코프로에이치엔 본사 [에코프로에이치엔 제공]

[헤럴드경제=정경수 기자] 에코프로에이치엔이 삼성E&A에 330억원 규모의 반도체 온실가스 저감 설비를 공급한다.

에코프로에이치엔은 삼성E&A와 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS) 공급 계약을 체결했다고 27일 공시했다.

이번 계약은 반도체 공정에서 발생하는 온실가스를 줄이는 환경 설비 공급 건이다. AI 반도체 투자 확대와 첨단 산업단지 조성이 맞물리면서 반도체 생산 현장의 환경 관리와 탄소 저감 설비 수요도 함께 커지는 흐름이다.

RCS는 ‘재생촉매식 온실가스 저감 시스템’으로, 반도체 제조 과정에서 나오는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 설비다. 과불화화합물은 이산화탄소보다 지구온난화에 미치는 영향이 수천~수만배 큰 물질로 알려져 있어, 반도체 업계가 생산 확대와 함께 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.

에코프로에이치엔은 이번 수주가 기존 반도체 고객사와의 사업 연속성을 확보했다는 점에서 의미가 있다고 보고 있다. 국내 반도체사가 에코프로에이치엔의 RCS 설비를 다시 도입하면서 기술 신뢰성을 확인받았다는 설명이다.

에코프로에이치엔의 RCS는 촉매 기반 저온 분해 기술을 적용한 것이 특징이다. 기존 열분해 방식은 온실가스 처리를 위해 1300~1400도 수준의 고온 공정이 필요하지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800도에서 온실가스를 분해할 수 있다.

에코프로에이치엔은 이를 통해 에너지 사용량을 줄이면서도 온실가스 제거 효율을 확보할 수 있다고 설명했다. 반도체 공장은 장비 가동 시간이 길고 에너지 사용량이 큰 만큼, 저감 설비의 처리 효율과 에너지 비용이 모두 중요한 변수다.

에코프로에이치엔은 국내 반도체사의 글로벌 생산거점 투자 확대에 맞춰 해외 고객사 확보에도 나설 계획이다. 북미를 비롯한 해외 반도체 기업으로 고객 기반을 넓혀 RCS 사업 영역을 확대한다는 구상이다.

에코프로에이치엔 관계자는 “이번 수주는 당사의 독보적인 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 재확인받은 결과”라며 “앞으로도 차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화해 나갈 것”이라고 밝혔다.


kwater@heraldcorp.com