나녹스, 한국서 세계 최초 디지털 엑스레이 칩 생산

입력 2022-04-05 18:32:22

[헤럴드경제] 혁신의료영상 기술기업 나녹스가 한국에서 세계 최초 디지털 엑스레이 칩 생산을 본격화한다.

나녹스는 5일 경기도 용인 반도체 클러스터 인근에 위치한 자사 반도체 공장에서 기념식을 갖고 디지털 엑스레이 칩 생산을 시작했다. 이 회사는 올해 중반기 해당 제품의 본격 생산에 돌입한다는 계획이다.

나녹스 용인 반도체 공장은 ‘나녹스 소스’칩의 핵심 생산거점이다.

회사 측은 "나녹스 소스칩은 3D 의료영상 시스템 기술을 구현할 수 있는 ‘나녹스 아크’의 디지털 엑스레이 소스를 생성하는 핵심 부품"이라며 "나녹스는 이를 통해 전 세계 인구의 3분의 2가 의료영상 기술 혜택을 받지 못하는 현 상황을 개선하고 의료영상 대중화를 위해 힘쓸 계획"이라는 포부를 밝혔다.

에레즈 멜처 나녹스 CEO는 이날 기념식에서 "지속되는 글로벌 공급망 위기 속에서도 나녹스는 새로운 시설을 통해 나녹스 아크의 핵심 부품인 반도체 칩을 자체적으로 공급할 수 있게 됐다"며 "생산을 시작한 제조 공장은 나녹스가 의미 있는 의료 서비스를 글로벌 규모로 확장할 수 있는 잠재력을 지니게 하는 통합 전략의 핵심이며, 이를 통해 전 세계적으로 연결된 의료 영상 솔루션을 제공할 수 있을 것으로 기대한다"고 강조했다.

나녹스 용인 반도체 공장은 나녹스가 세계 최초로 전용 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)제품을 생산하는 시설이다. 클린룸을 포함해 1만2000㎡(약3630평) 규모로 조성됐다.

또한, 불화크립톤(KrF) 스캐너를 사용한 200nm 포토리소그래피, 전기화학적 금속 에칭, 박막의 화학기상증착(CVD) 및 물리기상증착(PVD), 건식 에칭, 습식 및 화학 에칭, 진공에서 칩 검사 및 테스트와 X선 튜브용 C-모듈 패키징 등이 가능하다.

나녹스의 핵심 기술은 아날로그 엑스레이 소스를 디지털 소스로 변환해 기존 3D 의료영상 시스템 대비 크게 비용을 절감할 수 있는 디지털 엑스레이 기술이다. 나녹스 소스는 기존 엑스레이선관의 필라멘트를 대체하는 반도체 칩으로, 디지털 방식으로 작동해 빠른 시간 안에 엑스레이를 켜고 끌 수 있으며 칩에서 빠져나가는 전자에서 열을 발생시키지 않는다고 회사 측은 설명했다.