유량성·SMEE 팀들 흡수해 DUV 생산 주도

중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비 양산에 돌입한 가운데, 해당 업체는 ‘상하이 아이성나(愛晟納) 전자기술그룹’이라고 로이터통신이 소식통을 인용해 28일(현지시간) 보도했다.

소식통에 따르면 상하이 아이성나 전자기술그룹은 지난해 DUV 시제품 데스트를 시작한 노광장비 스타트업 유량성(Yuliangsheng)과 ‘상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비’(SMEE)의팀들을 흡수해 DUV 생산을 주도하고 있다. 유량성은 화웨이의 지원을 받는 장비 제조업체 사이캐리어의 계열사다.

이 소식통은 아이성나의 액침 DUV 노광장비는 추가 테스트가 필요할 것으로 예상되며, 네덜란드 ASML에 비해 아직 많이 뒤처진 상태라고 말했다.

지난 2023년 8월 설립된 아이성나의 등록 서류상 주주는 국유기업 두 곳뿐이다. ‘상하이 일렉트릭 홀딩스’와 ‘상하이 인터내셔널 트러스트’의 자회사다.

앞서 미국 IT매체 디인포메이션은 상하이에 있는 한 국가 지원 기업이 액침 DUV 노광장비 제조를 시작했으며 올해 5대, 내년 20대 생산을 목표로 하고 있다고 보도했다.

중국 매체 신랑재경은 올해 생산되는 장비가 중신궈지(SMIC)·화훙반도체·창신메모리(CXMT) 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정이라고 보도했다.

로이터는 이는 중국의 ‘반도체 굴기’에서 주요 성과이지만, 네덜란드 ASML에 즉각적인 상업적 위협이 되지는 않을 것이라고 관측했다.

DUV는 오랫동안 ASML이 주도해 온 반도체 제조 장비다. 액침 DUV 노광장비는 이보다 한 단계 더 발전된 기술로, 투영 렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이에 수막을 만들어 기존 건식 시스템보다 더 미세한 회로 패턴을 형성할 수 있다.

하지만 중국이 DUV 노광장비를 양산하면 ASML에 잠재적 위협이 될 수 있다. 2분기 ASML의 중국 매출 비중은 14%로, 전년 동기 19%에서 하락한 상태다.

중국의 DUV 생산 소식은 글로벌 반도체 및 기술주의 매도세도 자극했다.

JP모건은 이날 보고서에서 “소수의 액침 DUV 노광장비를 생산하는 것과 (반도체) 대량 생산에 사용할 수 있는 장비를 생산하는 것은 다르다. 대량 생산에서는 수천번의 웨이퍼 공정에 걸친 수율, 오버레이 정밀도, 처리량, 신뢰성이 중요하기 때문”이라고 밝혔다. 김영철 기자


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