레이저·이산화탄소 활용 건식 세정 장비 사업

국내 유일 EUV 마스크 레이저 베이킹 사업 영위

기술성 평가 AA… 소·부·장 기술특례기업 최초

아이엠티 “HBM·EUV 기술력으로 첨단 반도체 장비 시장 선점”…10월 상장 [투자360]
최재성 아이엠티 대표가 8일 서울 여의도에서 열린 기자간담회에서 코스닥 시장 상장 이후의 비전과 계획을 밝히고 있다. [아이엠티 제공]

[헤럴드경제=권제인 기자] “아이엠티는 고대역폭 메모리(HBM)와 극자외선(EUV) 장비 두 개 시장을 정조준하고 있다. 상장 이후 차세대 첨단 반도체 시장을 선점해 글로벌 선도 기업으로 도약할 것입니다.”

최재성 아이엠티 대표는 8일 서울 여의도에서 열린 기자간담회에서 코스닥 시장 상장 이후의 비전과 계획을 이같이 밝혔다.

아이엠티는 2000년 설립된 반도체 공정장비 기업이다. 레이저, 이산화탄소를 활용한 건식 세정 장비 사업과 국내 유일의 극자외선 마스크 레이저 베이킹(EUV Mask Laser Baking) 장비 사업을 영위하고 있다.

건식 세정 기술은 반도체 기술이 고도화함에 따라 표면 손상 방지와 2차 폐기물 처리가 중요해지면서 각광받고 있다. 기존 습식 세정 방식은 물과 화학약품 등을 활용해 건조 과정이 필요하고 부품 특성에 따라 적용이 어렵다는 한계가 있다.

아이엠티는 HBM 분야에서 적용 가능한 3세대 이산화탄소 세정 기술 ‘마이크로젯’(MicroJet)을 최초로 개발했다. 회사는 해당 기술을 바탕으로 드라이아이스 사용량을 줄이고 입자 크기를 제어해 세밀하게 세정하는 ‘CO2 링 프레임 웨이퍼’(Ring Frame Wafer)를 생산하고 있다.

최 대표는 “3세대 드라이아이스(이산화탄소) 마이크로젯을 개발해 디스플레이, 첨단 인쇄회로기판(PCB) 등의 분야로 관련 장비를 판매하고 있다”며 “작년에는 HBM을 생산하는 반도체 기업 한 곳과 공동 개발해 상품화를 시작했고, 올해 7월 퀄(품질인증)을 받아 내년부터 양산 단계에 돌입한다”고 설명했다.

아이엠티는 지난 4월 코스닥상장을 위한 기술성 평가에서 한국발명진흥회로부터 AA등급을 받았다. 기술특례상장 제도가 시작된 이래 소·부·장(소재·부품·장비) 기업이 AA등급을 획득한 것은 처음이다.

아이엠티는 반도체 분야 외에도 이차전지 등 레이저 세정에 대한 수요가 있는 분야로 시장을 확대해 성장 속도를 높인다는 계획이다. 회사는 이미 파우치형 이차전지 실링툴 오염을 세정하는 장비를 개발했으며 추가적인 제품 개발에 적극 나서고 있다.

총 공모주식수는 158만주로 공모 희망가액은 1만500~1만2000원이다. 공모 예상금액은 희망 밴드 상단 기준 190억원이다. 오는 12일까지 5영업일간 수요예측을 진행해 공모가를 확정하고 18~19일 일반 공모청약을 진행한다. 상장 대표 주관사는 유안타증권으로 10월 상장 예정이다.

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