주성엔지 ALD, SK하이닉스 납품 진공펌프 엘오티베큠 ‘흑전’기대 극자외선(EUV) 노광장비 덕분에, 반도체 사이클에 올라탄 장비 업체들의 ‘실적 비상(飛上)’이 기대된다.

27일 금융정보업체 와이즈에프엔에 따르면 주성엔지니어링의 2분기 매출과 영업이익은 각각 9.57%, 38.92% 증가한 763억원, 129억원에 이를 것으로 전망된다.

시장에선 지난 2010년 기록했던 역대 최대 영업이익(395억원)을 뛰어넘는 552억원도 가능할 것이란 관측이 나온다. 그동안 D램에 국한됐던 반도체 장비 매출이 SK하이닉스의 투자 덕분에 올해부터는 3D 낸드 장비 매출로도 다변화 했다는 평가다.

최근 이 기업은 반도체 업계의 EUV 노광장비 수주 증가 덕분에 또 다시 시장의 관심을 끌고 있다.

노광은 웨이퍼에 회로 패턴을 그리는 공정을 뜻한다.

삼성전자와 SK하이닉스의 메모리 반도체 제조에 필수 장비로 꼽히는 EUV 노광장비는 세계에서 유일하게 네덜란드의 에이에스엠엘(ASML)만 제조하고 있는데, ASML은 최근 2분기 실적발표에서 6건의 새로운 추가 주문(삼성전자로 추정)을 접수했다고 밝혔다.

SK하이닉스 역시 오는 2019년 EUV 노광 장비 도입을 계획하고 있다. EUV 노광장비가 도입되면 증착ㆍ식각장비 비용 등이 감소해 생산단가를 낮출 수 있다는 점이 부각된 것이다.

이와 관련해 주성엔지니어링의 원자층 증착(ALD) 기술이 주목받고 있다. EUV를 통해 웨이퍼에 새긴 패턴이 미세해지면 증착되는 막질의 두께도 얇아져야 한다. 이 때 원자 단위 증착 장비인 ALD이 사용된다는 분석이다. 주성엔지니어링은 SK하이닉스의 주요 ALD 장비 납품사 중 하나라는 점에서 이목을 끈다.

올해 2분기 흑자전환이 기대되는 엘오티베큠도 EUV 노광장비 출하로 기대감이 높다. 도현우 미래에셋대우 연구원은 “EUV는 공정상 진공 상태가 필요하다”며 “국내에 건식 진공 펌프를 만드는 업체인 엘오티베큠이 기대된다”고 평가했다.

김지헌 기자/