[헤럴드경제=박영훈 기자] 에스엔유프리시젼은 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.
회사측은 “증착챔버내에 열이 챔버내 유닛에 의해 손실되는 것을 방지하고, 증착두께를 일정하게 유지할 수 있도록 보정해 기판에 증착되는 박막의 원료 사용 효율을 증대시킬 수 있는 박막증착장치에 관한 것”이라고 설명했다.
이어 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
[헤럴드경제=박영훈 기자] 에스엔유프리시젼은 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.
회사측은 “증착챔버내에 열이 챔버내 유닛에 의해 손실되는 것을 방지하고, 증착두께를 일정하게 유지할 수 있도록 보정해 기판에 증착되는 박막의 원료 사용 효율을 증대시킬 수 있는 박막증착장치에 관한 것”이라고 설명했다.
이어 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.