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<생생코스닥>원익IPS, 복수기판 처리장치 특허권 취득

입력 2012-07-10 11:22:24

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김지현 기자

원익IPS는 10일 복수기판 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “공간분할 ALD 처리 장치에 있어서 가스를 균일하게 분사하기 위한 복수의 가스 분사부에 대한 기술”이라며, “당사 반도체 장비의 경쟁력 강화가 예상된다”고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

김지현 기자

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