테스(095610)는 플라즈마 발생용 전극에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
테스(095610)는 플라즈마 발생용 전극에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 설명했다.