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<생생코스닥>테스, 기판처리시스템 특허권 취득

입력 2012-06-05 15:49:56

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김지현 기자

테스(095610)는 5일 건식식각장치 및 이를 구비한 기판처리시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "HF 가스 및 NH3 가스가 혼합되는 과정에서 파우더가 발생하는 것이 방지되며, 그 결과 기판 상에 파티클이 형성되는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.

jemmie@heraldcorp.com

김지현 기자

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