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＜생생코스닥＞테스, 로드락 챔버 관련 특허권 취득

입력 2012-04-24 15:31:58

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테스(095610)는 웨이퍼 정렬장치 및 이를 포함하는 로드락 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 웨이퍼 정렬 과정에서 소요되는 시간이 전체 반도체 제조 공정 시간을 지연시키는 것을 방지하여 반도체 제조의 생산성을 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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