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＜생생코스닥＞테스, 반도체 제조장비 관련 특허권 취득

입력 2012-03-20 14:24:02

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테스(095610)는 열교환용 플레이트가 구비된 트랜스퍼 챔버 및 이를 구비한 반도체 제조장비에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판흐름의 정체를 방지해 공정속도가 향상되는 효과가 있으며, 열에너지의 낭비를 방지함으로써 경제성을 향상하는 효과가 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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