테스(095610)는 서셉터 접지유닛과 이를 이용해 서셉터 접지의 가변방법 및 이를 갖는 공정챔버에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 서셉터의 일면과 상부 연결부 사이의 접촉면적을 변경할 수 있고, 그 결과 서셉터에서의 접지를 변경해 증착막의 균일도를 향상시킬 수 있다”고 설명했다.


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