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＜생생코스닥＞테스, 기판 처리 장치 특허권 취득

입력 2012-02-28 16:56:17

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테스(095610)는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판처리 장치의 제조 과정에서 리프트 핀 유닛의 파손을 최소화시키면서도 지지부재가 리프트 핀 유닛으로부터 쉽게 이탈되는 것을 저지할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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