증권

＜생생코스닥＞원익IPS, 플라즈마 처리 장치 특허권 취득

입력 2012-02-16 14:40:13

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원익IPS(030530)는 플라즈마 처리 장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반도체 처리 챔버 외부에 별도의 플라즈마 발생원을 이용하지 않고 가스를 활성할 수 있는 장치 및 방법”이라고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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