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＜생생코스닥＞원익IPS, 가스분사장치 관련 특허권 취득

입력 2012-01-18 14:36:23

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원익IPS(030530)는 가스분사장치 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 원자층 증착 장치에서 가스를 균일하게 공급할 수 있는 가스 공급부 관련 기술”이라고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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