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위지트, 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 관한 특허취득

입력 2016-09-02 14:02:18

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김지현 기자

[헤럴드경제=박영훈 기자] 위지트는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 관한 특허권을 취득했다고2일공시했다.

회사측은 “액정표시장치용 CVD 챔버 내부에 설치되고 상면에 기판이 안착되어 원활한 증착을 위해 적절한 온도로 가열하도록 히터가 매설된 서셉터에 관한 것”이라며 “본 특허 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩 발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공한다”고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

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