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<생생코스닥>원익IPS, 박막 증착 방법 관련 특허취득

입력 2013-03-07 14:20:02

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김지현 기자

원익IPS는 박막 증착 방법에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사측은 “ALD 방식 대비 증착속도가 향상된 싸이클릭-CVD 방식의 TiAlN 증착방법”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다. 　

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