원익IPS는 상변화 메모리 제조 방법에 관한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.
회사측은 “상변화막 증착 시 컨택 플러그 증착 후 상변화막을 연속적으로 증착하여 공정 단계를 단축하는 상변화막 메모리 증착 방법”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
원익IPS는 상변화 메모리 제조 방법에 관한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.
회사측은 “상변화막 증착 시 컨택 플러그 증착 후 상변화막을 연속적으로 증착하여 공정 단계를 단축하는 상변화막 메모리 증착 방법”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.