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<생생코스닥>탑엔지니어링, 반도체기판 처리장치 관련 특허 취득

입력 2013-06-07 10:53:49

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김지현 기자

탑엔지니어링은 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사측은 “본 발명은 종래의 리프트 핀 대신 개선된 가이드 링을 이용해 반도체 기판을 척에 로딩하도록 하는 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 것”이라며 “증착장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.

jemmie@heraldcorp.com

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