[헤럴드경제=박영훈 기자] 에스엔유프리시젼은 증착용 자성체 검사장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 “본 발명은 상향식 증착환경 등에서 기판과 마스크를 정렬할 때 사용되는 자성체를 검사하여 증착성능을 향상시키는 기술”이라며 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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[헤럴드경제=박영훈 기자] 에스엔유프리시젼은 증착용 자성체 검사장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 “본 발명은 상향식 증착환경 등에서 기판과 마스크를 정렬할 때 사용되는 자성체를 검사하여 증착성능을 향상시키는 기술”이라며 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.