에코프로(086520)는 촉매식 과불화 화합물처리장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 과불화화합물(PFC Gas)을 사용하는 국내외 반도체및 LCD 업체용 대형 설비제작에 적용과 해당 Gas를 이용하는 다수의 기업체 및 연구소 실험실 등에 활용할 계획”이라고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
에코프로(086520)는 촉매식 과불화 화합물처리장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 과불화화합물(PFC Gas)을 사용하는 국내외 반도체및 LCD 업체용 대형 설비제작에 적용과 해당 Gas를 이용하는 다수의 기업체 및 연구소 실험실 등에 활용할 계획”이라고 설명했다.