증권

＜생생코스닥＞테스, 박막증착방법 특허권 취득

입력 2011-11-08 15:21:35

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테스(095610)는 박막증착방법에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 메인 배기부를 이용한 하방 배기 방식을 통해 챔버 내부를 신속하게 배기함으로써 공정 준비 시간을 단축할 수 있으며, 박막 공정시에는 기판 표면에 균일한 가스 흐름을 형성함으로써 박막 균일도를 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

test10043@heraldcorp.com

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