테스는 유기금속화학증착 반응기에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 균일한 막질형성이 가능해지고, 적은 가스량으로 보다 용이하게 막질이 형성될 수 있는 장점이 있다”고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
테스는 유기금속화학증착 반응기에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 균일한 막질형성이 가능해지고, 적은 가스량으로 보다 용이하게 막질이 형성될 수 있는 장점이 있다”고 설명했다.