테스는 플렉시블 박막 태양전지의 가스차단장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “챔버 내로 유입되는 공정 가스 또는 외부의 공기를 배기 홀로 유도해 다음의 공정이 진행될 프로세스 챔버로 공정 가스 또는 외부의 공기가 유입되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다”며 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
테스는 플렉시블 박막 태양전지의 가스차단장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “챔버 내로 유입되는 공정 가스 또는 외부의 공기를 배기 홀로 유도해 다음의 공정이 진행될 프로세스 챔버로 공정 가스 또는 외부의 공기가 유입되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다”며 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.