- 과기부, 나노팹 공정 스마트 서비스 사업 추진

나노종합기술원 연구진이 반도체 핵심소재 감광제 도포장비를 작동하고 있는 모습.[나노종합기술원 제공]
나노종합기술원 연구진이 반도체 핵심소재 감광제 도포장비를 작동하고 있는 모습.[나노종합기술원 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 과학기술정보통신부는 20일 나노종합기술원에서 ‘공공 나노팹 운영 혁신 자문위원회’를 열고 ‘인공지능(AI)‧데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스’ 구축을 추진한다고 밝혔다.

이번 사업은 공공 나노팹이 데이터 기반의 고도화된 공정서비스를 제공하도록 나노팹 공정 데이터의 체계적이고 지속가능한 활용 기반을 갖추어나가는 사업으로 오는 2026년까지 총 270억원을 투입한다.

그간 나노종합기술원 등 공공 나노팹에는 매년 수만 건의 나노·반도체 분야 공정서비스를 지원하는 시설은 갖춰져 있었지만 서비스 데이터를 축적‧활용할 수 있는 기반이 없어 공정 경험을 축적하고 활용하는 체계적 서비스 운영에 한계가 있었다.

이를 해결하기 위해 이번 사업은 개별 장비 단위로 운영인력의 경험과 실력에 좌우되어 관리되던 공정과 장비 데이터를 빅데이터화하고, 장비 간 데이터를 유기적으로 연계하는 등 인공지능(AI) 기반의 나노팹 스마트 운영서비스를 구축할 예정이다.

이를 통해 연구기관과 기업에 제공하는 나노팹 공정서비스의 수준을 획기적으로 제고하고 연구개발에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 계획이다.

이번 사업은 나노팹의 스마트화를 통한 기능과 서비스 고도화와 나노팹 공정데이터의 빅데이터화와 AI를 활용한 디지털화로 이루어진다.

나노팹 공정 스마트 서비스 사업 개요.[과기정통부 제공]
나노팹 공정 스마트 서비스 사업 개요.[과기정통부 제공]

그간 데이터가 부재하여 어려움을 겪었던 나노‧반도체 기업과 연구기관에 품질·설계 검증, 성능검증 등에 활용 가능한 필요 데이터를 제공함으로써, 나노‧반도체 분야 연구개발 생태계의 디지털화와 산업화 촉진에 이바지할 것으로 기대한다.

이창윤 과기정통부 기초원천연구정책관은 “이번 사업은 반도체 공정 등에 데이터와 AI를 적용하여 연구성과를 창출하는 혁신적이고 의미있는 사례가 될 것”이라며 “향후 국가나노인프라기관에 적용을 확대함으로써 산‧학‧연 반도체 공정개발에 크게 기여할 것으로 기대한다”고 밝혔다.


nbgkoo@heraldcorp.com