- 한국나노기술원에 중고 장비 이전

- 유휴장비 활용 소부장 기술개발 지원

삼성전자 반도체 설비 내 모습 [삼성전자 제공]
삼성전자 반도체 설비 내 모습 [삼성전자 제공]

[헤럴드경제=구본혁 기자] 삼성전자가 세계 최고 수준의 반도체 제조 현장에서 축적한 공장 운영 노하우와 장비를 국내 공공 연구기관에 제공한다.

과학기술정보통신부는 11일 경기 수원 한국나노기술원에서 ‘삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 중고장비 이전식’을 개최한다고 밝혔다.

이번 협력은 지난해 3월 과기정통부가 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 국내 주요 반도체 3사와 체결한 업무협약의 후속 조치다.

삼성전자 DS부문 상생협력센터는 지난 6월부터 10월까지 한국나노기술원을 대상으로 반도체 팹 운영·관리 컨설팅을 진행했다. 앞서 나노종합기술원과 나노융합기술원에 적용했던 민간 제조혁신 노하우를 공공 연구기관으로 확대한 것이다.

특히 삼성전자가 반도체 소부장 협력사를 대상으로 운영해 온 ‘소부장 눈높이 컨설팅’을 공공나노팹 특성에 맞게 적용했다.

장비별 표준작업절차서(SOP)와 점검표, 교육·운영 기준 등을 개선하고, 민간 반도체 양산 현장에서 활용하던 ‘현장점검 매뉴얼’을 공공나노팹 맞춤형으로 개발해 처음 적용했다.

이를 통해 공공나노팹에서도 반도체 생산 현장 수준의 안전관리와 설비 점검을 체계적으로 수행할 수 있는 기반을 마련했다.

삼성전자의 유휴 반도체 장비도 공공 연구현장에 투입된다.

과기정통부의 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 통해 삼성전자가 보유한 자동 패턴 박막 측정 장비가 한국나노기술원으로 이전된다.

이 장비는 8인치 반도체 웨이퍼에 형성된 단층·다층 박막의 두께와 광학상수를 손상 없이 정밀 측정할 수 있다. 한국나노기술원은 이를 활용해 기존에 없던 8인치 자동 박막 계측 역량을 확보하고 기업과 대학, 연구기관의 기술개발을 지원할 계획이다.

정부는 이번 협력 모델을 다른 공공나노팹으로도 확대한다.

한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터, 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등에 컨설팅 성과와 현장점검 매뉴얼을 공유하고 순차적으로 적용할 방침이다.

지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 “삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태겠다”고 말했다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 “글로벌 반도체 경쟁이 국가 역량을 총결집하는 경쟁으로 바뀌고 있다”며 “민간기업 컨설팅과 유휴장비 이전을 모아팹 참여기관 전반으로 확대해 반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.


nbgkoo@heraldcorp.com