테스(095610)는 쉐도우 프레임 및 이를 갖는 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 27일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 피처리 기판을 안정적으로 지지하여 줌으로써, 리프트 핀으로 인해 발생되던 기판 손상 및 불균일 증착 등의 문제를 해결할 수 있다”고 설명했다.


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