테스(095610)는 대면적 챔버의 가스분사장치에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 안정된 공정 데이터를 얻을 수 있고, 장치의 파손이나 열변형에 의한 변형을 방지할 수 있으며 태양전지 및 제조장치와 관련된 것으로 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 설명했다.


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