테스(095610)는 로드 락 장치 및 로드 락 장치의 벤팅 가스 공급 방법에 관한 특허권을 취득했다고 29일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 로드 락 챔버에 로딩된 웨이퍼가 열 충격에 의해 파손되는 것을 방지하면서도 신속한 벤팅 가스의 공급이 가능하다”고 설명했다.


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